Перший сканер із високою апертурою їде до Intel
У грудні 2023 року ASML відвантажила Intel перші модулі першої системи High NA EUV — TWINSCAN EXE:5000. Числову апертуру збільшено з 0,33 до 0,55, що дає мінімальний друкований розмір 8 нанометрів: елементи в 1,7 раза менші та щільність у 2,9 раза вища, ніж у попередніх системах EUV.
Чому це важливо
Вузол, на якому друкуватимуть прискорювачі наступного десятиліття, залежить від однієї машини однієї компанії з однієї країни, і перша така машина поїхала до одного замовника. Атлас показує експортні обмеження на кристали; тут видно ланку вище — обладнання, без якого кристалів не буває взагалі.
Що саме сталося у грудні, ASML формулює обережно: «відвантажила перші модулі першої системи High NA EUV до Intel». Це не машина в ящику й не день: систему везли частинами, а складання й початок калібрування Intel оголосила аж 18 квітня 2024 року, на майданчику Fab D1X у Гіллсборо, штат Орегон. Через це запис несе місяць, а не 21 грудня, як подавав звіт. Числа ASML: апертура з 0,33 до 0,55, мінімальний розмір 8 нанометрів, елементи в 1,7 раза менші, щільність у 2,9 раза вища. Щоб не змушувати галузь переходити на більші фотошаблони, оптика анаморфна — зменшує зображення вчетверо в одному напрямку й увосьмеро в іншому. Поле експонування вдвічі менше, тож на пластину йде вдвічі більше експозицій; це компенсовано швидшими столами — стіл пластини розганяється з прискоренням 8g, стіл шаблона 32g. Продуктивність — понад 185 пластин за годину. Числа Intel: систему привезли «у понад 250 ящиках усередині 43 вантажних контейнерів», далі літаками до Сіетла й двадцятьма вантажівками до Орегону; вага однієї системи — понад 150 тонн. Чого запис не стверджує. Ціни немає в жодному з двох джерел, тож 350 мільйонів доларів зі звіту сюди не входять. І «понад 250 контейнерів» звіту — це переставлені числа: контейнерів 43, ящиків понад 250.